● 根据测量条件，在有轨测量和无轨测量方式间切换，以进行优化评价。

● 通过宽幅范围的高精度检出器以及高直线度的驱动部，实现了超出同级水平的高精度测量。

・ 检出器 测量范围：800μm，分辨力：0.0001μm（8μm范围内时）

・ 驱动器

直线度/驱动长度：0.3μm/25mm（SJ-411）

直线度/驱动长度：0.5μm/50mm（SJ-412）

● 使用收集到的用于评价表面粗糙度的点群数据，可简易地进行轮廓形状解析（阶差、阶差量、面积、坐标差）。可对在轮廓形状测量仪上不能分析的细微形状进行分析。